紫外光刻是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，它使用不同波长的紫外线进行光刻，以复制掩模版的图像到基片上。紫外光刻技术可以分为以下两种：

紫外光刻仪是一种用于材料科学领域的工艺试验仪器，它于2008年启用，具有多种光源和曝光模式，用于纳米器件的微加工。